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产品应用真空烧结炉是用石墨作发热元件的真空电阻炉,专门碳化物、氮化物及氧化物陶瓷在真空或?;て罩猩战岢芍破?,也可用于金属材料的热处理。主要应用于电容、钽材等金...
真空烧结炉是用石墨作发热元件的真空电阻炉,专门碳化物、氮化物及氧化物陶瓷在真空或?;て罩猩战岢芍破?,也可用于金属材料的热处理。主要应用于电容、钽材等金属及由难熔金属组成的合金材料、陶瓷材料碳化硅及氮化硅的高温烧结、也可以供金属材料在高真空条件下的高温热处理或贵金属材料的除气处理。
产品特点
均匀的加热、可靠的隔热及测温: 合理的加热结构,优良的材质,保证真空状态下炉温的均匀性,采用品牌测温元件,准确测温。
先进的自动控制及可靠的安全联锁: 采用计算机实现温度、动作过程全自动控制、 PLC 实现安全联锁,具有超压、超温水温过高等声光报警及联锁工能。
高生产效率的快冷系统: 配有内循环快速冷却装置,高效换热技术多方向吹向工件,冷却快速均匀。较之外循环快速冷却装置,又具有占地小,面积小,起动温度高,真空抽速快等优点。
产品参数
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半导体装备:13321980672
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